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XRD计算薄膜的晶粒大小
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XRD计算薄膜的晶粒大小
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想请教各位一下,我的材料是不到1微米厚的薄膜,柱状晶的结构,我使用XRD掠射方法得到了衍射峰,该如何计算薄膜的晶粒大小呢?
1.我现在了解到的是,每个峰宽对应的是该晶面法向的厚度,那么对于我的这种柱状晶结构,应该怎样计算晶粒大小呢,或者怎样得到表面上各个晶粒的尺寸呢
2.听说应该使用统计的方法来计算,但是我的衍射峰只有三个,对应不同晶面,那应该怎么办呢?
我不知道自己的理解对不对,希望大家可以指点一下,非常感谢
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