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ns?jaj

新虫 (小有名气)

[交流] 半导体掺杂 已有3人参与

为什么掺杂了之后去测EDS确不能够检测到掺杂的元素,难道是量太少了吗?

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loaferfdu

铁杆木虫 (著名写手)


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一方面是量极少,不要看什么单位是十的多少次方,换算成其他单位看看,另一方面EDS检测轻元素本来就不行,P还算在检测范围内,B根本就检测不了。

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2楼2019-09-22 08:15:36
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小魔侠

新虫 (小有名气)

3楼2019-09-22 10:58:05
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小魔侠

新虫 (小有名气)

4楼2019-09-22 10:58:25
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ns?jaj

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by loaferfdu at 2019-09-22 08:15:36
一方面是量极少,不要看什么单位是十的多少次方,换算成其他单位看看,另一方面EDS检测轻元素本来就不行,P还算在检测范围内,B根本就检测不了。

我加了大概21%

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5楼2019-09-23 07:05:24
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loaferfdu

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by ns?jaj at 2019-09-23 02:05:24
我加了大概21%
...

通常Si片掺杂的浓度很低很低的。你掺杂元素是啥?

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6楼2019-09-23 08:36:18
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huangxun12

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
做xps可以扫出来的

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7楼2019-09-27 17:47:18
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huangxun12

新虫 (小有名气)


8楼2019-09-27 17:47:40
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huangxun12

新虫 (小有名气)


或者xrd峰的便宜也可以分析出来

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9楼2019-09-27 17:47:59
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