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EBSD电子背散射衍射
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电子背散射衍射主要应用于多晶体材料,该种测试在保留了扫描电子显微镜的常规特点的同时进行了空间分辨率亚微米级的衍射,可获得许多晶体学信息,如织构和取向差分析,晶粒尺寸及形状分布分析,晶界、亚晶界和孪晶界性质分析,应变和再结晶的分析。该种测试对于样品的要求是表面必须平整、清洁、无残余应力,导电性良好,适合的形状及尺寸。首先需要导电性良好的固体样品,将其切割成一定尺寸大小,进行研磨,待表面平整些后进行抛光处理(点解抛光或氩离子束抛光),最终样品大小应在10*10*3mm到7*7*1mm范围内。 此文为个人理解,想了解详细测试内容,请私聊 发自小木虫IOS客户端 |
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