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xttzhb

金虫 (小有名气)

[求助] 3-5层CVD石墨烯图形化加工求助(最小线宽10um)!!!已有3人参与

各位大佬,想问一下哪里可以加工3-5层的CVD石墨烯啊?
之前查过有等离子体蚀刻和飞秒激光加工等集中方式。

但是我初步了解了一下发现,等离子蚀刻好像只能加工单层石墨烯?多层的话可能无法刻蚀干净。。。
而飞秒激光属于自行搭建的平台,如果没有相当的经验,可能短期内没法摸索出工艺流程。。。

所以在这里咨询一下懂行的大佬看,有什么建议和帮助,比如,国内哪个单位做过这方面的工作,国外的也可以,有联系方式更好。

或者 有相关经验的大佬愿意花时间指导一下这方面。。。跪求!!!

六年秃头老博士离毕业就差这个加工实验了,要不然就真得跳楼了,拜托各位了!!!
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工艺混子

新虫 (小有名气)

Rie刻蚀完全可以,以前用氧气打个几十秒就没了

发自小木虫IOS客户端
6楼2020-03-05 20:26:21
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a2923534327955

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

激光刻蚀设备应该可以,我们以前用的是德龙激光机
为石墨烯发展,做贡献
2楼2019-09-24 19:07:42
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

石墨烯本质还是碳,再多层他也是很薄的一层碳膜,氧气刻蚀应该很容易吧?
3楼2019-09-25 09:47:31
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zhangyanbang

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你好,利用飞秒激光加工的石墨烯质量较高,我们之前已经自行搭建过几套飞秒激光加工系统,之前研究硅的表面加工,目前也在做石墨烯以及其他二维材料的加工,如果需要我们可以交流一下啊
4楼2019-09-29 11:30:23
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