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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 我之所以要用到光刻胶是为了制作纸质叉指电极，由于导师和我都是...
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lawles

新虫 (初入文坛)

[求助] 我之所以要用到光刻胶是为了制作纸质叉指电极，由于导师和我都是...

我之所以要用到光刻胶是为了制作纸质叉指电极，由于导师和我都是第一次接触光刻胶，遇到问题后难以解决，所以烦请大神能够不吝赐教，下面是我的操作步骤，谢谢
1)滤纸作为基底，SU-8 1070作为光刻胶 以600rpm速率匀胶后，65℃预烘15min,95℃预烘4h.
2)20W的LED紫外灯曝光45s
3)65℃后烘15min，95℃后烘45min
4)使用PGMEA显影
5)135℃坚膜2h
现在遇到问题是在显影过程中发现未曝光部分的胶在显影液形成凝胶体后却难以分解，以至于底部总有胶残留 @yswyx

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1楼 2019-09-01 00:15:40
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众志启成

金虫 (正式写手)
已经固化的SU8不好去的

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4楼2019-09-02 12:03:42
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众志启成

金虫 (正式写手)
把残胶去掉就好了

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2楼2019-09-01 19:19:49
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lawles

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 众志启成 at 2019-09-01 19:19:49
把残胶去掉就好了

可是如果继续泡在显影液里的话就会破坏其它已经固化的胶面啊

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3楼2019-09-02 09:02:37
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lawles

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 众志启成 at 2019-09-02 12:03:42
已经固化的SU8不好去的

但是我一旦浸泡稍久，固化的胶就会被破坏，或许是因为紫外光照射时间不够或者是滤纸作为基底导致结合不好？

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5楼2019-09-03 08:40:00
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