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光刻胶显影不完全，总有一层胶铺在底面
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大神们好，我之所以要用到光刻胶是为了制作纸质叉指电极，由于导师和我都是第一次接触光刻胶，遇到问题后难以解决，所以烦请大神们能够不吝赐教，下面是我的操作步骤，谢谢 1)滤纸作为基底，SU-8 1070作为光刻胶 以600rpm速率匀胶后，65℃预烘15min,95℃预烘4h. 2)20W的LED紫外灯曝光45s 3)65℃后烘15min，95℃后烘45min 4)使用PGMEA显影 5)135℃坚膜2h 现在遇到问题是在显影过程中发现未曝光部分的胶在显影液形成凝胶体后却难以分解，以至于曝光区的负胶膨胀变形 发自小木虫Android客户端 |
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