| 查看: 2077 | 回复: 6 | |||
ws4231153新虫 (小有名气)
|
[交流]
磁控溅射工作压强和真空压强 已有5人参与
|
|
如题，真空压强我能理解，疑惑的是工作压强是通了Ar气的流量压强吗？有点搞不清楚 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有118人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
bobo201266
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1550.9
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 418
- 在线: 20.9小时
- 虫号: 15108252
- 注册: 2019-05-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2019-08-20 11:41:56
Adrean
金虫 (小有名气)
钻虫
- 应助: 12 (小学生)
- 金币: 1852.9
- 散金: 90
- 红花: 2
- 帖子: 248
- 在线: 101.2小时
- 虫号: 2616768
- 注册: 2013-08-26
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
3楼2019-08-21 08:23:14
4楼2019-08-23 16:07:05
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
Hi 题主： 首先想问下你对真空压强是如何理解的呢？ 首先是压强问题，压强产生的原因是气体分子碰撞器壁产生。不同的压强计工作原理不一样，比如ionization gauge，它就是由残留气体分子离子化，探测离子电流从而转化为对应压强。那么前提还是要有气体分子对吧。没有绝对真空的环境，只要有气体分子并且在绝对零度之上，那么分子热运动就会使它运动并且存在碰撞墙壁的几率，从而产生压强。 所谓的真空压强，就是因为pump们无法真正抽干净chamber里的气体分子，包括水分子，氧气分子，一氧化碳分子，惰性气体原子甚至金属气态原子等等。这时候的压强是集体作用的结果，但如果单说某一种气体分子，比如氧气的分压，那就要叫做partial pressure. 而在磁控溅射中，我们打开了氩气的阀门，通入了氩气气体。举个常见的例子，在UHV的chamber中，压强能达到10^-8Pa，磁控溅射可能要用10^-3Pa的氩气（具体我记不清了，很久之前做的磁控溅射。现在我用的无磁控sputter一般用10^-3Pa），这一下子大了5个数量级。那么谁是主导呢？当然是氩气。 但是你要有个意识，此时的压强，还是所有分子共同作用的结果，因为gauge并不会区分气态分子原子的不同。但由于是氩气主导，所以我们近似认为，此时压强就是氩气压强。 你所说的流量压强，抱歉我还是第一次听这个称呼。一般来说流量就是流量，SCCM是其单位，standard cubic centimeter per minute，标准状况下毫升每分钟。而压强是Pa，所以这两者不可以混为一谈。他们之间的联系你可以这样想象：氩气通过管道进入真空舱，在管道里有一个探测流量的装置给出了流量单位，很明显这跟你的管道直径流速等等有关系。而进入到真空舱的氩气放飞了自我，各种碰壁，产生了压强被gauge检测到。而这些氩气将会起到溅射功能，不再会按照某个特定方向“流动”，也就没有必要算流量了。 而流量和压强之间也肯定是有关系了，你想想看其他条件不变的前提下，你流量越大，进入真空舱的氩气分子越多，产生的压强肯定也越大。但是这还与pump的工作效率有关系，总之这是一个复杂的问题，但却不需要复杂地想。你要注意通过单位区分二者的不同。 祝好。 |
5楼2019-08-25 00:21:32
haohao119
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2327.2
- 散金: 8
- 帖子: 337
- 在线: 135.8小时
- 虫号: 912582
- 注册: 2009-11-25
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2019-08-27 09:29:30
ws4231153
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 99
- 散金: 35
- 帖子: 148
- 在线: 41.9小时
- 虫号: 6663019
- 注册: 2017-06-01
- 专业: 力学中的基本问题和方法
7楼2019-08-27 09:48:50
5