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ws4231153新虫 (小有名气)
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磁控溅射工作压强和真空压强 已有5人参与
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如题，真空压强我能理解，疑惑的是工作压强是通了Ar气的流量压强吗？有点搞不清楚 发自小木虫IOS客户端 |
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bobo201266
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2楼2019-08-20 11:41:56
Adrean
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3楼2019-08-21 08:23:14
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Hi 题主： 首先想问下你对真空压强是如何理解的呢？ 首先是压强问题，压强产生的原因是气体分子碰撞器壁产生。不同的压强计工作原理不一样，比如ionization gauge，它就是由残留气体分子离子化，探测离子电流从而转化为对应压强。那么前提还是要有气体分子对吧。没有绝对真空的环境，只要有气体分子并且在绝对零度之上，那么分子热运动就会使它运动并且存在碰撞墙壁的几率，从而产生压强。 所谓的真空压强，就是因为pump们无法真正抽干净chamber里的气体分子，包括水分子，氧气分子，一氧化碳分子，惰性气体原子甚至金属气态原子等等。这时候的压强是集体作用的结果，但如果单说某一种气体分子，比如氧气的分压，那就要叫做partial pressure. 而在磁控溅射中，我们打开了氩气的阀门，通入了氩气气体。举个常见的例子，在UHV的chamber中，压强能达到10^-8Pa，磁控溅射可能要用10^-3Pa的氩气（具体我记不清了，很久之前做的磁控溅射。现在我用的无磁控sputter一般用10^-3Pa），这一下子大了5个数量级。那么谁是主导呢？当然是氩气。 但是你要有个意识，此时的压强，还是所有分子共同作用的结果，因为gauge并不会区分气态分子原子的不同。但由于是氩气主导，所以我们近似认为，此时压强就是氩气压强。 你所说的流量压强，抱歉我还是第一次听这个称呼。一般来说流量就是流量，SCCM是其单位，standard cubic centimeter per minute，标准状况下毫升每分钟。而压强是Pa，所以这两者不可以混为一谈。他们之间的联系你可以这样想象：氩气通过管道进入真空舱，在管道里有一个探测流量的装置给出了流量单位，很明显这跟你的管道直径流速等等有关系。而进入到真空舱的氩气放飞了自我，各种碰壁，产生了压强被gauge检测到。而这些氩气将会起到溅射功能，不再会按照某个特定方向“流动”，也就没有必要算流量了。 而流量和压强之间也肯定是有关系了，你想想看其他条件不变的前提下，你流量越大，进入真空舱的氩气分子越多，产生的压强肯定也越大。但是这还与pump的工作效率有关系，总之这是一个复杂的问题，但却不需要复杂地想。你要注意通过单位区分二者的不同。 祝好。 |
5楼2019-08-25 00:21:32
haohao119
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ws4231153
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