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微纳printing

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PZT纳米梁
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直径约200nm,长约50um的PZT纳米梁,两端底面是Pt电极,衬底是580um厚的石英,用comsol仿真得其一阶轴向伸缩振动谐振频率为33MHz,但是在大气环境下,用阻抗分析仪测试在33MHz附近测不出谐振峰。只在5MHz附近有一个低峰谷,而且在没有PZT梁的样品上也能测出相似的曲线。厦门大学郭航老师成功做过类似研究,我们怎么都测不出PZT梁的谐振频率,不知道问题出在哪里,测试环境,电极制作或者缺少极化,希望同从事相关研究的同学和老师一起讨论,万分感谢

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cytZCMU2楼
2019-08-15 13:04   回复  
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2019-08-15 13:04   回复  
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sym7911224楼
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cylfendou5楼
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Gjjbz9楼
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zhoupucun10楼
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