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Kingchan01

新虫 (正式写手)

[求助] 求一种合适的倒模材料

制备某种结构光刻SU-8时为了套刻的可靠性制备了反向的结构,从而需要两次倒模将该结构由SU-8转换为PDMS,使用PDMS double cast时,即使对第一次得到的PDMS结构用甲基三氯硅烷处理后,深宽比(后称比值)较大(比如宽2微米高4微米)的结构在两PDMS分离时会有一边断裂残留在另一边里面,将第一次的PDMS材料换成norland公司的UV胶NOA 68时对比值略小于2的结构制备可以成功,但是若比值大于2,NOA 68与SU-8分离时前者会断裂残留在后者的深坑中。不知哪位大神有相关的经验或者理论知识,可以助我找到一种合适中间材料替代该NOA 68,以成功制备比值大于2的PDMS微米结构。我觉得可能材料的模量和抗拉强度是比较重要的参数,请教一下更具体的要求或更好推荐一种合适的方便加工的材料(比如光照或加热即可固化成型)。谢谢!

@yswyx @神魔流转 发自小木虫Android客户端
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原位代加工

新虫 (小有名气)


看起来太高端,没有研究过这个东西~
2楼2019-08-14 13:53:45
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Leon1995

新虫 (初入文坛)

你好,我想请教一下PDMS如何用甲基三氯硅烷处理增加结构的深宽比的?

发自小木虫Android客户端
3楼2020-01-02 23:57:59
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