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当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] 求助，几个光刻词汇的中文含义

### 求助  ###

    请问下光刻工艺中，T-top、L/S Pattern、DHP的中文含义分别是什么？谢谢！
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1楼 2019-08-09 12:24:09
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rainstory

木虫 (正式写手)
T型；线和间隔图形； 脱水烘焙处理

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当你当年
2楼2019-08-09 15:10:16
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当你当年

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by rainstory at 2019-08-09 15:10:16
T型；线和间隔图形； 脱水烘焙处理

感谢感谢。

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3楼2019-08-09 15:54:23
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