| 查看: 646 | 回复: 0 | ||
[求助]
请问有做扫描干涉场曝光（SBIL）的同学吗，想请教实验条件
|
|
刚接触这个领域，只看了两篇博士论文，一个是Paul Thomas Konkola的《Design and analysis of a scannning beam interference lithography system for patterning gratings with nanometer-level distortions》，另一篇是Yong Zhao的《Ultra-high precision scanning beam interference lithography and its application-spatial frequency multiplication》。 这两篇论文里面都提到了主要实验舱体environmental enclosure的实验条件和温度对实验精度的影响，但是我没有太看懂，所以想咨询一下专业人士。这个实验舱是需要Class 10的洁净区域，而且温度控制在20度，一个大气压，50%的湿度对吗？它对温度的精度或者说波动度要求是多少，是0.005摄氏度吗？如果要达到这个精度需要如何实现？这个实验对湿度和其他环境参数是否有要求，论文里我没看到或者是我看漏了。 希望能有专业人士不吝赐教，非常感谢！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
Bioresource Technology期刊，第一次返修的时候被退回好几次了
已经有7人回复
-
2025冷门绝学什么时候出结果
已经有4人回复
-
真诚求助：手里的省社科项目结项要求主持人一篇中文核心，有什么渠道能发核心吗
已经有8人回复
-
寻求一种能扛住强氧化性腐蚀性的容器密封件
已经有5人回复
-
论文投稿，期刊推荐
已经有6人回复
-
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。
已经有4人回复
-
孩子确诊有中度注意力缺陷
已经有14人回复
-
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢
已经有5人回复
-
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗
已经有5人回复
-
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入
已经有4人回复
