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[求助]
请问有做扫描干涉场曝光（SBIL）的同学吗，想请教实验条件
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刚接触这个领域，只看了两篇博士论文，一个是Paul Thomas Konkola的《Design and analysis of a scannning beam interference lithography system for patterning gratings with nanometer-level distortions》，另一篇是Yong Zhao的《Ultra-high precision scanning beam interference lithography and its application-spatial frequency multiplication》。 这两篇论文里面都提到了主要实验舱体environmental enclosure的实验条件和温度对实验精度的影响，但是我没有太看懂，所以想咨询一下专业人士。这个实验舱是需要Class 10的洁净区域，而且温度控制在20度，一个大气压，50%的湿度对吗？它对温度的精度或者说波动度要求是多少，是0.005摄氏度吗？如果要达到这个精度需要如何实现？这个实验对湿度和其他环境参数是否有要求，论文里我没看到或者是我看漏了。 希望能有专业人士不吝赐教，非常感谢！！ |
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