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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 湿法腐蚀玻璃，一般光刻胶能扛多久？
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原位代加工

新虫 (小有名气)

[求助] 湿法腐蚀玻璃，一般光刻胶能扛多久？

腐蚀较深的深度，比如100um用什么当掩膜比较好
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1楼 2019-08-05 16:47:21
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babyoflion

金虫 (著名写手)
金属
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2楼2019-08-05 18:46:10
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553805507

铁虫 (小有名气)
这就要看你想腐蚀的材料了。常用的湿法腐蚀掩膜有二氧化硅、光刻胶和金属。
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3楼2019-08-06 08:08:59
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原位代加工

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2019-08-05 18:46:10
金属

谢谢~
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4楼2019-08-06 13:45:31
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原位代加工

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 553805507 at 2019-08-06 08:08:59
这就要看你想腐蚀的材料了。常用的湿法腐蚀掩膜有二氧化硅、光刻胶和金属。

谢谢~
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5楼2019-08-06 13:45:40
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原位代加工

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2019-08-05 18:46:10
金属

请问一下大佬，用BOE溶液腐蚀玻璃，金属掩膜什么材料比较好些，选择比大概是多少
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6楼2019-08-06 13:52:00
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原位代加工

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 553805507 at 2019-08-06 08:08:59
这就要看你想腐蚀的材料了。常用的湿法腐蚀掩膜有二氧化硅、光刻胶和金属。

想用BOE溶液腐蚀玻璃，金属掩膜什么材料比较好些，选择比大概是多少？
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7楼2019-08-06 13:52:43
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 原位代加工 at 2019-08-06 13:52:00
请问一下大佬，用BOE溶液腐蚀玻璃，金属掩膜什么材料比较好些，选择比大概是多少...

选择比和结构有关，理论上来说金属是不被腐蚀的 你懂的
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8楼2019-08-06 14:04:25
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