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求助：1、实验室采用的CHF3反应离子束刻蚀机，在离子源中三氟甲烷会被
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求助：1、实验室采用的CHF3反应离子束刻蚀机，在离子源中三氟甲烷会被电离，这个过程中会产生自由基𝐻∗ 、 𝐹∗和 𝐶𝐻𝐹2∗ 等吗？自由基H和F会结合成HF酸吗？ ２、在刻蚀石英过程中，加速的离子会溅射出硅原子和氧原子，那么ｓｉ和ｏ会怎么结合呢？会ｓｉ变成ｓｉ单质，ｏ变成氧气？ 感谢知道的解答一下，或者发表一下看法！谢谢谢谢！  |
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