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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 有虫友用磁控溅射做过Cr涂层吗？交流一下
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KOUHh

新虫 (小有名气)

[交流] 有虫友用磁控溅射做过Cr涂层吗？交流一下 已有4人参与

有虫友用磁控溅射做过Cr涂层吗？工艺参数能交流下吗，谢谢！

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1楼 2019-07-18 11:49:36
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caiyazhi

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你想知道什么？这个很简单啦

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浮躁的社会更需要冷静
2楼2019-07-20 20:03:13
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KOUHh

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by caiyazhi at 2019-07-20 20:03:13
你想知道什么？这个很简单啦

你好，请教一下，镀膜的时候，样品台旋转和不旋转的结果差别大吗？

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3楼2019-08-23 17:13:51
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bobo201266

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by KOUHh at 2019-08-23 17:13:51
你好，请教一下，镀膜的时候，样品台旋转和不旋转的结果差别大吗？
...

影响片内均匀性

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4楼2019-08-25 18:53:26
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KOUHh

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-08-25 18:53:26
影响片内均匀性
...

那请问一般样品放在样品台的什么位置，靠中心一些还是边缘一点

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5楼2019-08-29 07:02:12
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bobo201266

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by KOUHh at 2019-08-29 07:02:12
那请问一般样品放在样品台的什么位置，靠中心一些还是边缘一点
...

一般中心好一点吧，我们的设备。圆片位置是固定的。

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6楼2019-08-29 19:13:27
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zf0301

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，我想问下，我两次溅射CrN,参数一样，为什么形貌会有很大差别呢，一次样品摆放靠近圆心，一次相对靠近边缘，和这个有关系嘛？
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7楼2019-09-16 15:16:37
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Zhao.cf

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by zf0301 at 2019-09-16 15:16:37
你好，我想问下，我两次溅射CrN,参数一样，为什么形貌会有很大差别呢，一次样品摆放靠近圆心，一次相对靠近边缘，和这个有关系嘛？

这个跟位置是没有太大关系的，只要待镀样品是在基片内，相同参数做出来的镀膜层大致上就是一样的。可能是你在做的过程中有什么没注意到的，导致实际上真空室的内部环境是不一样的。

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8楼2019-09-17 17:42:37
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