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KOUHh

新虫 (小有名气)

[交流] 有虫友用磁控溅射做过Cr涂层吗?交流一下 已有4人参与

有虫友用磁控溅射做过Cr涂层吗?工艺参数能交流下吗,谢谢!

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caiyazhi

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你想知道什么?这个很简单啦

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浮躁的社会更需要冷静
2楼2019-07-20 20:03:13
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KOUHh

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by caiyazhi at 2019-07-20 20:03:13
你想知道什么?这个很简单啦

你好,请教一下,镀膜的时候,样品台旋转和不旋转的结果差别大吗?

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3楼2019-08-23 17:13:51
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bobo201266

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by KOUHh at 2019-08-23 17:13:51
你好,请教一下,镀膜的时候,样品台旋转和不旋转的结果差别大吗?
...

影响片内均匀性

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4楼2019-08-25 18:53:26
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KOUHh

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-08-25 18:53:26
影响片内均匀性
...

那请问一般样品放在样品台的什么位置,靠中心一些还是边缘一点

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5楼2019-08-29 07:02:12
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bobo201266

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by KOUHh at 2019-08-29 07:02:12
那请问一般样品放在样品台的什么位置,靠中心一些还是边缘一点
...

一般中心好一点吧,我们的设备。圆片位置是固定的。

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6楼2019-08-29 19:13:27
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zf0301

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你好,我想问下,我两次溅射CrN,参数一样,为什么形貌会有很大差别呢,一次样品摆放靠近圆心,一次相对靠近边缘,和这个有关系嘛?
7楼2019-09-16 15:16:37
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Zhao.cf

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by zf0301 at 2019-09-16 15:16:37
你好,我想问下,我两次溅射CrN,参数一样,为什么形貌会有很大差别呢,一次样品摆放靠近圆心,一次相对靠近边缘,和这个有关系嘛?

这个跟位置是没有太大关系的,只要待镀样品是在基片内,相同参数做出来的镀膜层大致上就是一样的。可能是你在做的过程中有什么没注意到的,导致实际上真空室的内部环境是不一样的。

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8楼2019-09-17 17:42:37
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