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laibaoning

铜虫 (小有名气)

[交流] 大佬们能否透露下器件镀电极形成欧姆接触的工艺 已有4人参与

研一小白,做PD要GaAs上镀电极形成欧姆接触,大佬有没有相关经验的传授下退火工艺如何?
另外我看文献中的电极 Au:Ge=88:12 这个是什么意思?比例混合?分子蒸镀不是一个坩埚一个坩埚蒸镀吗,怎么能混合?莫非还是按电极厚度等比例电镀,有先后顺序之分吗?
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babyoflion

金虫 (著名写手)


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两个蒸发舟一起镀吧?欧姆接触是代表的能级匹配吧 这个要自己调
2楼2019-07-12 08:29:25
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)


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p面ti/au,n面ni/au/ge/au,工艺窗口还是比较宽的

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3楼2019-07-12 17:32:13
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zzzzzaha at 2019-07-12 17:32:13
p面ti/au,n面ni/au/ge/au,工艺窗口还是比较宽的

您好,我N面用的工艺是 Au22/Ge6/Au22/Ni12/Au 您是Ni最先镀,请问有什么不同呢?Ni的作用是什么呢?
4楼2019-07-18 09:55:16
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)


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引用回帖:
4楼: Originally posted by laibaoning at 2019-07-18 09:55:16
您好,我N面用的工艺是 Au22/Ge6/Au22/Ni12/Au 您是Ni最先镀,请问有什么不同呢?Ni的作用是什么呢?...

本质上没什么区别,都是靠ge形成ohmic,ni增加电极粘附强度

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5楼2019-07-18 22:18:52
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by laibaoning at 2019-07-18 09:55:16
您好,我N面用的工艺是 Au22/Ge6/Au22/Ni12/Au 您是Ni最先镀,请问有什么不同呢?Ni的作用是什么呢?...

ni在au和ge之间还可以理解为blocker layer。你这个为什么把ni放在两层au之间?

发自小木虫IOS客户端
6楼2019-07-18 22:23:37
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jj503185037

捐助贵宾 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
电极后,退火合金化才是关键

发自小木虫IOS客户端
7楼2019-07-26 23:25:59
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朝曦renew

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
88:12可能是合金的最佳比例吧,我们给客户做的金锗颗粒都是这个比例的
8楼2019-11-18 09:37:10
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