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vhtdy

新虫 (小有名气)

[求助] 铝膜工艺问题求助

各位前辈,我最近用磁控溅射镀了一层80nm的铝膜,但是热导率与其他设备镀膜的热导率差异很大,向各位前辈请教一下铝膜的热导率和工艺有什么联系吗,或者有相关的文献可以分享嘛,找了好久,做这方面的工作太少了

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bobo201266

金虫 (正式写手)

如果厚度没差异的话,肯定和膜层的致密性有关。可以sem看看

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2楼2019-07-07 19:51:57
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