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[求助] 磁控溅射纯铝薄膜工艺与热导率的关系

各位前辈，最近用磁控溅射镀了一层80nm的铝膜，但是热导率与其他设备镀膜的热导率差异很大，向各位前辈请教一下铝膜的热导率和工艺有什么联系吗，或者有相关的文献可以分享嘛，找了好久，做这方面的工作太少了

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1楼 2019-07-06 09:52:14

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