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大笨猪和聪明羊

荣誉版主 (职业作家)

[交流] 【请教】化学气相沉积和热蒸发法的区别是什么?

看文献里制备ZnO纳米线,不管是热蒸发还是CVD,都是整一个水平管式炉,陶瓷舟里一边放前躯体一边放Si片,最终都是在Si片上长出ZnO纳米线。

难道二者是同一种方法?
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yanghubu

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个问题也困扰我好久了!谢谢了!
“热蒸发法是物理气相沉积,前体就是ZnO。CVD的前体一般是锌粉,在气流中有氧气反应生成ZnO,有时可能还用点催化剂,所以叫做化学气相沉积。我理解有这点差别 ”
8楼2009-06-01 20:24:52
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cattleox0422

金虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★
大笨猪和聪明羊(金币+5,VIP+0):谢谢!都给你了^_^ 5-27 13:32
热蒸发法是物理气相沉积,前体就是ZnO。CVD的前体一般是锌粉,在气流中有氧气反应生成ZnO,有时可能还用点催化剂,所以叫做化学气相沉积。我理解有这点差别
2楼2009-05-27 11:26:40
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yipinchun

金虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
前者包括后者....
比如说碳纳米管合成用的是甲烷,乙炔之类的...催化剂生长...典型的CVD...
信春哥,得永生
3楼2009-05-27 18:09:34
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yipinchun

金虫 (著名写手)

大笨猪和聪明羊(金币+0,VIP+0):呵呵,看来我得多问点问题~ 5-27 20:40
斑竹mm居然亲自问问题...少见阿....
信春哥,得永生
4楼2009-05-27 18:10:25
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