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静听花开幕

银虫 (小有名气)

[交流] 【交流】利用XRD如何测试晶格应力?

通过XRD如何测试晶格应力?或者说相关测试方法?
虫友们有懂这方面的么?
请告知。我虚心请教。
谢谢。
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lszzcai

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
分析薄膜内部应力
通常在异质外延的薄膜中存有残余应力,应力会影响电子器件的性能,引起器件成品率及可靠性问题。因此分析薄膜内部应力随生长条件的变化是有一定意义的。c轴择优生长的Zno薄膜,当(002)衍射峰的2θ值大于标准值时,就小于晶体材料的晶面间距值。说明薄膜沿C轴方向被压缩,即样品中存在着面内张应力。而当2θ值小于标准值时,样品中存在着面内压应力。根据公式
应力=-453。6*10(-9)[(c-c0)/c0] (N/m2)
               可以计算出薄膜内存在的应力,其中C0为粉末样品的晶格常数。
一日复一日,一天就没了
5楼2009-09-29 22:18:35
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师


元小雪(金币+1,VIP+0):3X 5-25 22:04
具体不懂
晶格应力好像会对晶格常数产生一定的影响,测试晶格常数的变化应该能得到相关的信息。
这个家伙很懒,什么也没有留下
2楼2009-05-25 21:59:03
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元小雪

木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
现代材料测试方法里面有讲解的,可以找相关的书看看,很常规的知识了
无聊的博士
3楼2009-05-25 22:04:30
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impcas

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
应该与衍射峰的位置有关。
6楼2009-09-29 22:26:06
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