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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求做ICP刻蚀的单位
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邱什么bean

新虫 (初入文坛)

[交流] 求做ICP刻蚀的单位 已有5人参与

求一个可以做用Cl2等腐蚀性气体刻蚀的单位，院所。

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1楼 2019-06-27 12:36:59
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babyoflion

金虫 (著名写手)
苏州纳米所可以
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2楼2019-06-27 12:44:38
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sinoist

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
苏州原位芯片可以去看看
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3楼2019-06-27 14:26:39
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丘米哈哈

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我这里可以哦，可以私信我

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4楼2019-06-27 14:43:29
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邱什么bean

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2019-06-27 12:44:38
苏州纳米所可以

好的好的，谢谢您

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5楼2019-06-27 19:18:49
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邱什么bean

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by sinoist at 2019-06-27 14:26:39
苏州原位芯片可以去看看

我去看看，谢谢您

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6楼2019-06-27 19:19:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ICP刻蚀怎么能随便通氯气呢。你别听那些不懂工艺的瞎咧咧。
一般只有刻金属的RIE才给通氯气的。直接问纳米所吧。
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7楼2019-06-28 15:00:14
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MEMSlee
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2019-06-28 15:00:14
ICP刻蚀怎么能随便通氯气呢。你别听那些不懂工艺的瞎咧咧。
一般只有刻金属的RIE才给通氯气的。直接问纳米所吧。



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8楼2019-07-05 12:53:13
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