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谁能够提供Si3N4不同晶相在腐蚀方面的相关知识？
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| Si3N4主要有alpha和Beta两种。Si3N4可以用浓磷酸，HF，碱进行腐蚀。我现在非常想了解它的两种晶相在腐蚀方面的差别呢？文献或者专利均可。 |
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