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蒸镀Al膜出现麻点凸起
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允执厥中
木虫
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各位大佬,
我用蒸镀法在衬底表面镀一层铝膜,结果发现长出来的Al膜非常的粗糙,有肉眼可见的麻点凸起,我不知道什么原因造成的,谁能帮我分析分析?
感谢!
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2019-06-20 15:26:42
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星河崔丽佳
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应力太多了,温度控制,
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允执厥中
16楼
2019-06-20 15:49:14
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16楼
:
Originally posted by
星河崔丽佳
at 2019-06-20 15:49:14
应力太多了,温度控制,
好的,谢谢!是Al膜和衬底的热膨胀系数差别太大导致的吗?还有没有别的可能的原因呢?
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24楼
2019-06-20 19:14:52
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24楼
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允执厥中
at 2019-06-20 19:14:52
好的,谢谢!是Al膜和衬底的热膨胀系数差别太大导致的吗?还有没有别的可能的原因呢?
...
衬板会不会不干净?镀膜上去有微粒覆盖。
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25楼
2019-08-24 16:31:47
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蒸的太薄了 建议测下膜厚
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26楼
2020-07-02 16:46:12
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lupengchem
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2019-06-20 15:27
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hdchina2010
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tzynew
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化学兔子
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。小角色。
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星河崔丽佳
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ruanqinqin
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