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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 铬掩模被钝化了如何去除钝化层?
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燃烧的树脂

铜虫 (小有名气)

[求助] 铬掩模被钝化了如何去除钝化层? 已有1人参与

用离子溅射镀铬，做光刻。但是用铬蚀刻液浸泡，无法将其溶解，是不是被钝化了呢？有没有什么办法可以将其溶解掉？
试过盐酸，硝酸，王水，铬蚀刻液。铬层完好。
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1楼 2019-06-17 15:15:45
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的Cr刻蚀液是哪个？硝酸铈铵哪个么？
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2楼2019-06-17 20:47:22
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燃烧的树脂

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2019-06-17 20:47:22
你的Cr刻蚀液是哪个？硝酸铈铵哪个么？

蚀刻液是从，长沙金昕电子材料有限公司买的【铬蚀刻液 JET929】
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3楼2019-06-18 10:34:59
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 燃烧的树脂 at 2019-06-18 10:34:59
蚀刻液是从，长沙金昕电子材料有限公司买的【铬蚀刻液 JET929】...

可能和Cr溅射出来的性质有关系 是不是本身就不是Cr可以做个元素看看
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4楼2019-06-18 12:46:26
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SunKli

新虫 (小有名气)
你好，请问最后解决了吗。我的也是腐蚀不掉铬膜，用的硝酸铈铵和冰醋酸

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5楼2024-06-29 23:59:37
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