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磁控溅射石墨靶没膜
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磁控溅射用射频源，功率70w到150w 气压1pa，气体流量Ar30 ，溅射一小时，衬底用的不锈钢和硅片，为什么没溅射上膜呀，求各位帮助。是参数不对吗 发自小木虫IOS客户端 |
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