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礼拜一lby主管区长
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[求助]
磁控溅射石墨靶没膜
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磁控溅射用射频源,功率70w到150w 气压1pa,气体流量Ar30 ,溅射一小时,衬底用的不锈钢和硅片,为什么没溅射上膜呀,求各位帮助。是参数不对吗 发自小木虫IOS客户端 |
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