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礼拜一lby

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射石墨靶没膜

磁控溅射用射频源，功率70w到150w
气压1pa，气体流量Ar30 ，溅射一小时，衬底用的不锈钢和硅片，为什么没溅射上膜呀，求各位帮助。是参数不对吗

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1楼 2019-06-13 19:41:01
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