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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射镀膜镀不上
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兜兜里没有钱

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜镀不上

磁控修理了一下热偶，腔室还在大气压下暴露过一段时间，以前可以镀膜的条件现在镀不上了。
以前0.5pa，150瓦，玻璃基底500度可以镀上，现在400度都镀不上了，试着降低了气压加大了功率也不行。难道仪器出问题了
请求各位前辈给点意见，谢谢大家

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1楼 2019-05-27 20:15:32
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黑狐1992

木虫 (小有名气)
所谓镀不上具体是什么情况？

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2楼2019-05-28 14:12:38
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兜兜里没有钱

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 黑狐1992 at 2019-05-28 14:12:38
所谓镀不上具体是什么情况？

溅射几分钟后肉眼观察，看见的就是透明玻璃，
镀上的话是有金属光泽的膜，像镜面一样

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3楼2019-05-28 14:36:27
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兜兜里没有钱

新虫 (初入文坛)
可以正常起辉，辉光是紫色的，和以前变化不大

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4楼2019-05-28 16:07:30
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