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磁控溅射镀膜镀不上
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磁控修理了一下热偶，腔室还在大气压下暴露过一段时间，以前可以镀膜的条件现在镀不上了。 以前0.5pa，150瓦，玻璃基底500度可以镀上，现在400度都镀不上了，试着降低了气压加大了功率也不行。难道仪器出问题了 请求各位前辈给点意见，谢谢大家 发自小木虫Android客户端 |
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