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兜兜里没有钱

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜镀不上

磁控修理了一下热偶,腔室还在大气压下暴露过一段时间,以前可以镀膜的条件现在镀不上了。
以前0.5pa,150瓦,玻璃基底500度可以镀上,现在400度都镀不上了,试着降低了气压加大了功率也不行。难道仪器出问题了
请求各位前辈给点意见,谢谢大家

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黑狐1992

木虫 (小有名气)

2楼2019-05-28 14:12:38
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兜兜里没有钱

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 黑狐1992 at 2019-05-28 14:12:38
所谓镀不上具体是什么情况?

溅射几分钟后肉眼观察,看见的就是透明玻璃,
镀上的话是有金属光泽的膜,像镜面一样

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3楼2019-05-28 14:36:27
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兜兜里没有钱

新虫 (初入文坛)

可以正常起辉,辉光是紫色的,和以前变化不大

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4楼2019-05-28 16:07:30
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