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ws4231153

新虫 (小有名气)

[交流] 关于光刻反胶剥离图形的问题 已有4人参与

光刻用反胶剥离图形,但好像有些金属剥离不下来,比如Au只能用刻蚀的方法做图形吗?还有什么材料也是只能刻蚀呢,想请问一下

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工艺混子

新虫 (小有名气)


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金可以用腐蚀方法,查下有标准腐蚀液,自己配就好了

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4楼2020-03-05 20:42:26
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众志启成

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这种光刻剥离AU工艺是很普通的工艺,具体有什么问题可以将问题图片发过来,私下交流!

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2楼2019-06-15 21:25:25
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88033066

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
氧化铟锡(ITO透明导电膜)也可以用刻蚀的方式得到图案,用化学方式刻蚀,不同的金属蚀刻液配比和工艺不同。
ITO导电玻璃,ITO柔性导电膜,FTO,+qq1210968490
3楼2019-06-19 17:00:15
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ghtot666

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
湿法腐蚀难控制图案的完整性。

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5楼2020-05-01 23:00:01
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