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Everest_lI新虫 (正式写手)
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磁控
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磁控今天抽了3个小时真空，才4.2E-3pa，之前抽3个小时6E-4pa，这是什么原因啊，求大佬帮分析下 发自小木虫Android客户端 |
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6楼2019-05-21 16:26:30
Jason-wong
至尊木虫 (职业作家)
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2楼2019-05-21 14:50:16
Everest_lI
新虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2019-05-21 14:58:48
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这种程度的漏气你怎么可能检查的到。听我的，用硅脂把反应室密封圈清理干净后均匀涂抹一遍，如果可以的话反应室里面用2000号砂纸仔细打磨一遍，一遍打磨一遍用无尘纸蘸着酒精清理，最后用吸尘器反复吸一遍。最后关上抽一次，第一次很慢必须的，第二次应该很快了 发自小木虫Android客户端 |
4楼2019-05-21 15:19:47