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微波ECR与磁控溅射
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我是刚接触ECR的一个萌新，想问一下关于微波ECR与磁控溅射的镀膜过程有什么区别，是不是等离子体的产生过程不同，我一直弄不清楚 发自小木虫IOS客户端 |
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