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gghh24

新虫 (小有名气)

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帖子: 140
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虫号: 6238829
注册: 2017-04-05
专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 求助如何用电沉积方法制备硅已有1人参与

请问在电沉积制备硅过程中配置电解液时加入正丁基氯化铵，碳酸丙烯脂，四氯化硅后为什么有白色絮状沉淀，如何改进? 求详细配置溶液步骤。

@yswyx @dut_ameng @wulishi8 @xiejf @nowitzki_ci @神魔流转 @神魔流转发自小木虫Android客户端

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1楼 2019-05-21 10:43:08

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JonusYao

新虫 (初入文坛)

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性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

我看的文献是0.1M SiCl4 + 0.1M TBACl溶于PC中，-2V恒压。不知道你的浓度是不是高了

2楼2022-09-15 16:48:51

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