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学渣gogo

新虫 (小有名气)

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[求助] 离子术辅助沉积氧化铝\氮化铝的离子原子到达比

求助！想问下影响离子术辅助沉积中离子原子到达比的因素有哪些？？
我查了一些文献，只查到了离子原子到达比对薄膜的影响。并没有提到如何影响的离子原子到达比。或者你们有没有推荐的文献。(???︿???)

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1楼 2019-05-18 10:13:38

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