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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】薄膜的优劣的评价？
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goalry

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】薄膜的优劣的评价？

我参考了一些关于薄膜材料的论著，但是里面多数是讲述薄膜的成膜理论，或是从试验上讲薄膜的制备，我想了解一下对薄膜评价的资料，比如我生长出来的是单晶膜好还是多晶膜好，薄膜内存在内应力，是压应力力对薄膜的影响好还是张应力的影响好，一般人们期望得到什么样的薄膜？

如果你们接触过有关对成膜评价的资料或书籍，不妨给推荐下，谢谢！！
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君子以自强不息，厚德载物
1楼 2009-05-19 15:33:17
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

班门弄斧

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
单晶好好事多晶好，这要看你有什么要求，也就是你要做单晶的还是多晶的。
有关的书帖子，论坛里面有很多，也可以找我给你发几本！
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谢谢大家的帮助！
2楼2009-05-19 20:58:18
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enquan123

金虫 (著名写手)
★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
这个具体问题要具体讨论吧，没有绝对的好与不好
赞一下(11人) 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2009-05-19 22:34:18
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wenyun0876

木虫 (正式写手)

老木虫
★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
对于单晶和多晶膜，视需要而定，不过做单晶膜的似乎多些。
对于张应力和压应力，需从膜材料和衬底材料晶格常数、生长工艺等多方面来判定。
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胸无块垒心常泰，腹有诗书气自华！
4楼2009-05-20 03:51:48
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淫笛书生

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
引用回帖:
Originally posted by wenyun0876 at 2009-5-20 03:51:
对于单晶和多晶膜，视需要而定，不过做单晶膜的似乎多些。
对于张应力和压应力，需从膜材料和衬底材料晶格常数、生长工艺等多方面来判定。

楼上说的很对
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5楼2009-05-20 08:18:22
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)
★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-21 11:40
一般好像只是分析了应力对膜的结构性能有什么影响，具体的好像没有什么分那种应力好的吧，而且一般都是想减小膜的内应力的吧
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6楼2009-05-20 14:44:31
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sunxinli

★
goalry(金币+1):谢谢参与
楼上都说得很对，没有具体定义非要单晶还是多晶，主要看性能和用途。有些薄膜要导电，多晶薄膜可能还不如非晶薄膜导电性能好，这个时候要选择做非晶薄膜。而不是一味提高结晶性能。
关于应力不大懂，在我看来应该要减少应力的，不管哪种力。不然薄膜到一定厚度后会脱落。
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7楼2009-05-24 13:17:32
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