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goalry

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】薄膜的优劣的评价?

我参考了一些关于薄膜材料的论著,但是里面多数是讲述薄膜的成膜理论,或是从试验上讲薄膜的制备,我想了解一下对薄膜评价的资料,比如我生长出来的是单晶膜好还是多晶膜好,薄膜内存在内应力,是压应力力对薄膜的影响好还是张应力的影响好,一般人们期望得到什么样的薄膜?

如果你们接触过有关对成膜评价的资料或书籍,不妨给推荐下,谢谢!!
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君子以自强不息,厚德载物
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

班门弄斧

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
单晶好好事多晶好,这要看你有什么要求,也就是你要做单晶的还是多晶的。
有关的书帖子,论坛里面有很多,也可以找我给你发几本!
谢谢大家的帮助!
2楼2009-05-19 20:58:18
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enquan123

金虫 (著名写手)

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
这个具体问题要具体讨论吧,没有绝对的好与不好
No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2009-05-19 22:34:18
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wenyun0876

木虫 (正式写手)

老木虫

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
对于单晶和多晶膜,视需要而定,不过做单晶膜的似乎多些。
对于张应力和压应力,需从膜材料和衬底材料晶格常数、生长工艺等多方面来判定。
胸无块垒心常泰,腹有诗书气自华!
4楼2009-05-20 03:51:48
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淫笛书生

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-20 12:57
引用回帖:
Originally posted by wenyun0876 at 2009-5-20 03:51:
对于单晶和多晶膜,视需要而定,不过做单晶膜的似乎多些。
对于张应力和压应力,需从膜材料和衬底材料晶格常数、生长工艺等多方面来判定。

楼上说的很对
5楼2009-05-20 08:18:22
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)

★ ★
goalry(金币+1):谢谢参与
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-21 11:40
一般好像只是分析了应力对膜的结构性能有什么影响,具体的好像没有什么分那种应力好的吧,而且一般都是想减小膜的内应力的吧
6楼2009-05-20 14:44:31
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sunxinli


goalry(金币+1):谢谢参与
楼上都说得很对,没有具体定义非要单晶还是多晶,主要看性能和用途。有些薄膜要导电,多晶薄膜可能还不如非晶薄膜导电性能好,这个时候要选择做非晶薄膜。而不是一味提高结晶性能。
关于应力不大懂,在我看来应该要减少应力的,不管哪种力。不然薄膜到一定厚度后会脱落。
7楼2009-05-24 13:17:32
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