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EDs和Xps检测元素的区别 已有2人参与
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各位小伙伴，我现在有一个材料理论上是有S、O、C、N材料，也可能有铁元素，但是我测之前用酸把铁去除掉了不确定有没有去除干净，我知道上面两种检测方法很精密，到时候检测铁出来是个不好的结果，因为我对这两种测试方法的原理不是很懂，想问问大家有没有什么好的建议。 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2019-04-29 20:59:47
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Xps是表面20nm, 定量不太准。eds定量取决于样品特点和测试条件，想要测准要平面，最好有标准样矫正，误差上限可能3%-5%。epma准确度好的多。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2019-04-29 21:19:01
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【答案】应助回帖
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XPS 比EDS灵敏，靠x-ray激发local level的电子得到信号，有些仪器如果是做high revolution的话可测到0.5%左右的精确度，EDS的检测一般是含量5%以上可信，用electron beam激发表面出二次电子得到信号，祝好运 发自小木虫Android客户端 |
6楼2019-04-30 08:36:54
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