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q627030174

银虫 (正式写手)

[求助] 椭偏仪的这个参数是什么意思?%thickness non-uniformity

我的膜厚数据 使用这个thickness non-uniformity分析和不使用结果相差很大,这是为什么?
这个参数的物理意义是什么?和表面粗糙度不一样在哪?
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chen32090313

金虫 (正式写手)

2楼2019-05-25 23:39:22
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