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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射Au的参数 已有1人参与

教研室最近买了金靶，但磁控溅射的参数没有一点头绪，溅射的时候用直流还是交流，通氩气还要其他气体吗，需要升温吗，需要打底层Ti溅射的参数呢，溅射出来可以用剥离法形成图形吗？需要大家指点迷津一下

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1楼 2019-04-23 15:04:11
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e如既往

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
还是查一下文献吧。。需要同氩气，用钛做粘附层，就是为了增加金和基底的结合力吧。
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2楼2019-04-25 10:40:08
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