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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射Au的参数 已有1人参与

教研室最近买了金靶,但磁控溅射的参数没有一点头绪,溅射的时候用直流还是交流,通氩气还要其他气体吗,需要升温吗,需要打底层Ti溅射的参数呢,溅射出来可以用剥离法形成图形吗?需要大家指点迷津一下

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e如既往

新虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
还是查一下文献吧。。需要同氩气,用钛做粘附层,就是为了增加金和基底的结合力吧。
2楼2019-04-25 10:40:08
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