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chur7138

新虫 (小有名气)

[求助] 选择性腐蚀镓砷,铝镓砷

目前在做一个选择性镓砷,铝镓砷的工艺,在用柠檬酸双氧水腐蚀完镓砷后,用BOE腐蚀镓砷,但是用BOE腐蚀完后,发现表面很脏,有人碰到过类似问题吗,有什么方法可以清洁表面吗?

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283921142

金虫 (著名写手)

是要选择性的去除某个金属杂质吗?
2楼2019-04-22 16:16:25
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