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chur7138

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[求助] 选择性腐蚀镓砷，铝镓砷

目前在做一个选择性镓砷，铝镓砷的工艺，在用柠檬酸双氧水腐蚀完镓砷后，用BOE腐蚀镓砷，但是用BOE腐蚀完后，发现表面很脏，有人碰到过类似问题吗，有什么方法可以清洁表面吗?

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1楼 2019-04-17 10:12:40

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283921142

金虫 (著名写手)

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专业: 金属有机化学

是要选择性的去除某个金属杂质吗？

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2楼2019-04-22 16:16:25

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