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选择性腐蚀镓砷,铝镓砷
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目前在做一个选择性镓砷,铝镓砷的工艺,在用柠檬酸双氧水腐蚀完镓砷后,用BOE腐蚀镓砷,但是用BOE腐蚀完后,发现表面很脏,有人碰到过类似问题吗,有什么方法可以清洁表面吗? 发自小木虫Android客户端 |
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