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TSINGlj

新虫 (正式写手)

[求助] TEM制样有啥门道 已有1人参与

如题,有没有有经验的老师同学分享一下TEM制样的经验,最近几个样品用时失败

@hwweven 发自小木虫Android客户端
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
哪种失败,是啥样品
2楼2019-04-11 21:44:43
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TSINGlj

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2019-04-11 16:44:43
哪种失败,是啥样品

第一种,看表面20nm厚薄膜的球差;第二种,样品区域深度7个μm,看球差;

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3楼2019-04-11 21:55:08
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
3楼: Originally posted by TSINGlj at 2019-04-11 21:55:08
第一种,看表面20nm厚薄膜的球差;第二种,样品区域深度7个μm,看球差;
...

7um,咋看电镜,还要球差?
4楼2019-04-12 10:00:20
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hjch1985

铁杆木虫 (著名写手)

用FIB切完了,然后表面用He离子清理一下表面就行,我还没材料,非磁性材料都没啥问题

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一个人总要走陌生的路,看陌生的风景
5楼2019-04-12 10:21:58
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TSINGlj

新虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by hjch1985 at 2019-04-12 05:21:58
用FIB切完了,然后表面用He离子清理一下表面就行,我还没材料,非磁性材料都没啥问题

我们的FIB没有He离子

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6楼2019-04-12 10:59:27
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hjch1985

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by TSINGlj at 2019-04-12 10:59:27
我们的FIB没有He离子
...

拿出来,放在有个仪器叫nanomilling的设备里,用He离子清洗,

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一个人总要走陌生的路,看陌生的风景
7楼2019-04-12 11:38:03
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