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guozhibing

木虫 (正式写手)

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[交流] 【综合其他】2009年微纳米加工技术及其应用讲习班

微纳米加工技术及其应用讲习班
Summer School for micro/nanofabrication

时间：2009年7月20－24日
地点：物理所D楼212会议室
主办：中科院物理研究所
协办：中科院微电子研究所
中科院半导体研究所
国家纳米科学中心

讲习班目的

微纳米技术是当今高科技发展的重要领域之一。微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。实现功能结构与器件微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。
此讲习班是在2005,2007年两次成功举办后的第3期.目的是全面介绍微纳米加工技术的基础及其最新进展.

讲习班内容

1.微纳米加工技术综述
2.光学曝光技术
3.电子书曝光技术
4.聚焦离子束加工技术
5.扫描探针加工技术
6.沉淀法图形转换技术
7.刻蚀图形转换技术
8.复制技术
9.间接纳米加工技术
10.自组装纳米加工技术
11.微纳米加工技术的应用

专题讲座

1.纳米科学与技术的研究进展及微纳米加工技术的应用等国内为纳米加工领域相关专家将带给您一系列精彩报告。
2. 纳米加工与测量设备介绍

报告人：美国FEI公司，德国Raith公司、苏斯贸易（上海）有限公司等。

报名方式

联系人：金爱子
地点：中科院科学院物理所微加工实验室
北京海淀区中关村南三街8号
电话：010－82648198

E－mail：lmf@aphy.iphy.ac.cn
Web：http://www.iphy.ac.cn/Chinese/JSB/SS/main.asp

备注：讲习班免费，交通食宿费自理。

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