| 查看: 1115 | 回复: 0 | ||
[求助]
金属钛薄膜在高温下是否会与氮气反应形成TiN薄膜
|
|
采用电子束或者磁控溅射等PVD设备制备的Ti薄膜，厚度在几百个纳米范围内（>100nm），在氮气氛围内，温度600-900摄氏度范围，持续时间1min-10min。 问题：①该Ti薄膜的表面是否会形成TiN，形成的TiN厚度一般是多少，（用薄膜总厚度的比例表征或者是厚度表征一下） ②如果会形成TiN薄膜，一般怎么去表征这层TiN薄膜的质量？（导电性？表面形貌？结晶？） ③是否有这方面的文献可以参考？（我也不清楚找哪方面的，我的目的是直接做出TiN，但是设备的硬件条件比较难做出来，只能靠这种方式尝试形成导电性良好且稳定性好的TiTiN薄膜） |
回复此楼» 猜你喜欢
西交利物浦大学奖学金博士招生（生物传感或机器学习方向）
已经有1人回复
-
南方科技大学招收金属材料方向博士生
已经有23人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有86人回复
-
可降解聚酯材料在医疗器械中的应用趋势与创新方向
已经有0人回复
-
可降解微球如何提升药物精准治疗效果
已经有0人回复
-
静电纺丝膜分层问题
已经有0人回复
-
什么脱膜剂可以完全清洗干净啊？
已经有2人回复
-
暨南大学化学与材料学院赵宇亮院士正在招博士和博后，方向为生物材料和纳米医学
已经有1人回复
-
可生物降解聚酯正在重塑现代医疗器械
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
