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RM美凌格新虫 (正式写手)
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器件镀膜膜厚问题已有4人参与
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| 做相同的器件，蒸镀的金属厚度主要取决于什么？比如InSe,我见到的就有Cr/Au分别为：5/35,5/50,5/70 nm。这个蒸镀金属的厚度会影响器件的性能还是其他的什么？ |
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Xiver_Sun
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3楼2019-04-03 11:48:42
xiangan315
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如果做liftoff的话，和你的光刻胶或者电子束胶厚有关，蒸镀金属厚度不超过胶厚的三分之一。另外，如果是做电极，考虑后期测试扎探针或者互联的话，太薄容易损坏电极。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2019-04-03 09:43:51
4楼2019-04-07 21:32:56
ALD菜鸟
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5楼2019-04-07 22:25:17