24小时热门版块排行榜    

查看: 1589  |  回复: 6

RM美凌格

新虫 (正式写手)

[交流] 机械剥离二维材料做器件测不出i-v. 已有3人参与

在做机械剥离法的同学,有没有遇到过器件看起来明明接触良好,但就是测i-v测不出来。电阻一直是13次方,应该是相当于没导通吧?(机械剥离→光刻→蒸镀→去胶(金)→组装器件,看起来每一步没什么问题,但就是测不出来,难道是接触没做好吗?真心求指导,做了好多器件都这样。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

RM美凌格

新虫 (正式写手)

材料是InSe,采用热蒸发镀膜,Cr5nm,0.1埃/秒,Au60nm,0.8埃/秒。显微镜下看接触良好,但就是测不出来,希望大神能够指导一下。

发自小木虫IOS客户端
2楼2019-04-03 07:50:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

568977122

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
inse应该很好导通呀,是不是电极和材料接触不好导致的,可以考虑退一下火
VENIVIDIVICI!!!
3楼2019-04-09 10:15:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

RM美凌格

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 568977122 at 2019-04-09 10:15:52
inse应该很好导通呀,是不是电极和材料接触不好导致的,可以考虑退一下火

是蒸镀电极之后退火吗?我见好多都是机械剥离之后就退火,然后再光刻蒸镀。

发自小木虫IOS客户端
4楼2019-04-09 11:13:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

568977122

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: originally posted by rm美凌格 at 2019-04-09 11:13:12
是蒸镀电极之后退火吗?我见好多都是机械剥离之后就退火,然后再光刻蒸镀。
...

机械剥离以后的退火是除胶,和蒸镀完之后退火是不一样的

发自小木虫Android客户端
VENIVIDIVICI!!!
5楼2019-04-09 15:43:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
排除不是材料不连续导致的原因外,可能有以下几种情况:
1:SeIn和Cr/Au没有形成欧姆接触,可以查询以下相关数据,尝试换一下接触金属种类,Cr与SeIn材料的接触如果是非欧姆接触的话,会出现上述情况。
2:测试过程中静电烧毁器件,建议在显微镜下仔细观察一下测试后的器件形貌有无异常,或者接触器件所有过程戴上静电手环。
3:镀膜过程腔室真空度不好,导致Cr氧化,一般镀Cr作为粘附层的话,最好先清洗Cr靶一段时间后,再往样品上蒸镀。
6楼2019-04-14 20:04:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

LightShade

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问解决了吗,我也遇到了类似的问题

发自小木虫Android客户端
7楼2021-04-28 02:29:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 RM美凌格 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +11 羊腰板 2026-08-21 11/550 2026-08-22 22:03 by lsbin3733
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 3/150 2026-08-22 22:03 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-22 21:54 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-22 21:42 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 zjuhero 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 什么时候开奖? +7 CrisMessi 2026-08-18 8/400 2026-08-22 18:29 by 淀粉搬运工
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[教师之家] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 4/200 2026-08-22 16:52 by sunzitan
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 9/450 2026-08-22 11:28 by h4CP7TrQR8Lg
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见