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RM美凌格

新虫 (正式写手)

[交流] 机械剥离二维材料做器件测不出i-v. 已有3人参与

在做机械剥离法的同学,有没有遇到过器件看起来明明接触良好,但就是测i-v测不出来。电阻一直是13次方,应该是相当于没导通吧?(机械剥离→光刻→蒸镀→去胶(金)→组装器件,看起来每一步没什么问题,但就是测不出来,难道是接触没做好吗?真心求指导,做了好多器件都这样。

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RM美凌格

新虫 (正式写手)

材料是InSe,采用热蒸发镀膜,Cr5nm,0.1埃/秒,Au60nm,0.8埃/秒。显微镜下看接触良好,但就是测不出来,希望大神能够指导一下。

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2楼2019-04-03 07:50:36
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568977122

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
inse应该很好导通呀,是不是电极和材料接触不好导致的,可以考虑退一下火
VENIVIDIVICI!!!
3楼2019-04-09 10:15:52
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RM美凌格

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 568977122 at 2019-04-09 10:15:52
inse应该很好导通呀,是不是电极和材料接触不好导致的,可以考虑退一下火

是蒸镀电极之后退火吗?我见好多都是机械剥离之后就退火,然后再光刻蒸镀。

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4楼2019-04-09 11:13:12
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568977122

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: originally posted by rm美凌格 at 2019-04-09 11:13:12
是蒸镀电极之后退火吗?我见好多都是机械剥离之后就退火,然后再光刻蒸镀。
...

机械剥离以后的退火是除胶,和蒸镀完之后退火是不一样的

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VENIVIDIVICI!!!
5楼2019-04-09 15:43:51
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xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
排除不是材料不连续导致的原因外,可能有以下几种情况:
1:SeIn和Cr/Au没有形成欧姆接触,可以查询以下相关数据,尝试换一下接触金属种类,Cr与SeIn材料的接触如果是非欧姆接触的话,会出现上述情况。
2:测试过程中静电烧毁器件,建议在显微镜下仔细观察一下测试后的器件形貌有无异常,或者接触器件所有过程戴上静电手环。
3:镀膜过程腔室真空度不好,导致Cr氧化,一般镀Cr作为粘附层的话,最好先清洗Cr靶一段时间后,再往样品上蒸镀。
6楼2019-04-14 20:04:33
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LightShade

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问解决了吗,我也遇到了类似的问题

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7楼2021-04-28 02:29:35
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