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q627030174

银虫 (正式写手)

[求助] 大佬们给推荐几种光刻胶或电子胶,转速一两千能甩到200-300nm或者500nm之下的 已有1人参与

大佬们给推荐几种光刻胶或电子胶,转速一两千能甩到200-300nm或者500nm之下的,有价格信息的给个价格和公司
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
q627030174: 金币+2, 有帮助 2019-03-20 20:14:17
瑞红 RZJ-304 4cp的在3000rpm转速能达到5000A厚度,你看看符不符合你要求。按你的转速和厚度,一般在4cp一下能符合你的要求。不行自己用丙酮把光刻胶稀释了再做一样。
2楼2019-03-19 16:24:40
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q627030174

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gyxzby at 2019-03-19 16:24:40
瑞红 RZJ-304 4cp的在3000rpm转速能达到5000A厚度,你看看符不符合你要求。按你的转速和厚度,一般在4cp一下能符合你的要求。不行自己用丙酮把光刻胶稀释了再做一样。

稀释了是不是胶就甩不匀了啊?
3楼2019-03-19 21:26:23
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jj503185037

捐助贵宾 (小有名气)


4楼2019-03-19 23:16:36
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q627030174

银虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by jj503185037 at 2019-03-19 23:16:36
电子束的胶可以吗?

电子束的胶是不是都挺贵的啊?要便宜点的
5楼2019-03-20 09:46:57
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
q627030174: 金币+3, 有帮助 2019-03-26 21:21:58
引用回帖:
3楼: Originally posted by q627030174 at 2019-03-19 21:26:23
稀释了是不是胶就甩不匀了啊?...

不会,均匀性跟你的温湿度,排风,转速控制有关,光刻胶粘度高低影响你的胶厚

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2019-03-25 15:28:01
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


研材微纳,选一款比较薄的光刻胶自己稀释。比如S1805。
这么低转速的胶想匀到这么薄,除非是193或者248nm的光刻胶,而且是针对12寸的。或者是电子束光刻胶。这些你都用不起。
联系我说的厂商吧。
7楼2019-04-01 15:29:51
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