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冷场发射电子枪,束流降低到一定程度要flash发射体让上面的污染物去掉的
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2019-03-14 16:17:05
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Andydu77
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简单的理解就是机器需要休了,这是因为SEM长时间工作,电子枪上沉积的不少污染电荷,需要flash步骤来回复电子枪的正常工作状态。连续做样的情况下normal flash一般最长8个小时左右需要做一次。
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2019-03-15 08:55:53
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hdchina2010
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panpan5403
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Haige89
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