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caiyu820306

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[交流] 【请教】SEM所分析的样品需要抛光吗？

请问做SEM之前，所需要处理的样品需要很光滑吗？谢谢指教。

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1楼 2009-05-12 02:03:48

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

guoning_1000688

银虫 (小有名气)

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yangruirui(金币+2,VIP+0): 5-26 13:12

引用回帖:

Originally posted by yankefei at 2009-5-12 22:45:
看了此贴学习了，是和你想看到的结果有很大的关系，我当时做高氮钢想看氮化物析出还要深腐蚀呢

对的。通常我们所说的SEM只是一个统称，其实SEM的功能主要由其配件也就是各种探头来实现。
现在的扫描电镜出了二次电子探头外（SE，观察形貌）都配有BSE（背散射探头，观察成分像）、EDS/EDX（x射线能量散射普）、WDS（x射线波长散射普，较少），此外还有EBSD(电子背散射衍射系统)

根据你要观察的情况选在制样手段
一般的端口形貌观察，拍摄SE像，试样清洗干净，保证我油污无粉尘干燥导电既可以；
对于金相样，观察晶界，第二相，需要抛光处理（电解、机械、振动都可以）；
观察成分像（第二相或者枝晶），拍摄BSE时，也需要抛光处理，保证样品表面平整；
EBSD或称EBSP（电子背散射衍射花样）不仅仅是抛光处理，尽量做到表面无应力，才能得到较清晰的花样，一般采用电解或振动抛光，也有蚀刻等其他制样方法