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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 硅片食人鱼溶液处理
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j19119046

禁虫 (正式写手)
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1楼 2019-03-07 22:11:43
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南得糊涂

铁杆木虫 (正式写手)
煮沸

发自小木虫Android客户端
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j19119046
做一个纯学术男
2楼2019-03-07 23:47:19
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hdwcbz

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你们的硅片是单面抛光的？用Piranha洗液之前，最好用乙醇或者丙酮初步处理一下硅片，超声清洗，氮气吹干；洗液处理的时候可以用磁力搅拌，保证能够充分地混合，注意不要搅太快，不然会有硅片的碎屑。不知道你们亲水性要求多高，我们做了之后接触角在18°左右。
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j19119046
idea
3楼2019-03-08 00:35:38
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j19119046

禁虫 (正式写手)
送红花一朵
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4楼2019-03-08 00:45:08
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j19119046

禁虫 (正式写手)
送红花一朵
本帖内容被屏蔽
5楼2019-03-08 00:46:15
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以定制一些四氟的湿法工艺夹具，找研材微纳定制。
湿法腐蚀的纳米线，你干燥后先看看电镜，处理不好，有可能是已经倒伏或者形成团簇了。
亲水处理还可以用氧plasma打。
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6楼2019-03-13 14:08:50
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