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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 化学刻蚀法
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青椒炒鸡蛋

新虫 (小有名气)

[求助] 化学刻蚀法 已有2人参与

请大神指点如何搭建化学刻蚀实验台。刻蚀金属材料方向

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1楼 2019-02-23 09:23:07
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专家倒

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
湿法刻蚀相对简单一点吧，看你需要做什么材料。再选酸液和光刻胶，后道相对容易吧，去胶还有废液处理什么的
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青椒炒鸡蛋
生命在于折腾
4楼2019-02-25 14:17:19
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主你好，给你一些建议参考
1、根据你的刻蚀金属流程，确定需要的机台，比如说，我要刻蚀Cu金属，那么整个湿法流程包括，Cu金属刻蚀，刻蚀后冲水，冲水后甩干，甩干后检查无异常进行光刻胶去除，那么按这个流程我需要Cu金属刻蚀槽，喷淋槽，甩干机，有机清洗槽（例如丙酮超声）；
2、确定刻蚀液的信息，酸碱性（回收药液方面要注意酸碱隔离，同样配制的刻蚀液会不会互相发生反应是否在机台内部进行挡板隔离），对人体危害性，手动操作尤其需要注意（排风量，操作保护工具防酸服，防毒面具，耐酸碱手套等）；废液回收一定要注意，不能直排，一定要回收分类，并需要有资质的废液回收厂定期收取废液；
3、根据你的预算寻找供应商，确定机台配置，确定技术参数要求；
4、前期二次配准备工作完成，装机，按技术协议验机，完成正常投入使用；
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青椒炒鸡蛋
2楼2019-02-23 10:32:30
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青椒炒鸡蛋

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by gyxzby at 2019-02-23 10:32:30
楼主你好，给你一些建议参考
1、根据你的刻蚀金属流程，确定需要的机台，比如说，我要刻蚀Cu金属，那么整个湿法流程包括，Cu金属刻蚀，刻蚀后冲水，冲水后甩干，甩干后检查无异常进行光刻胶去除，那么按这个流程我 ...

感谢您给予的宝贵意见。

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3楼2019-02-23 22:49:31
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青椒炒鸡蛋

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-02-25 14:17:19
湿法刻蚀相对简单一点吧，看你需要做什么材料。再选酸液和光刻胶，后道相对容易吧，去胶还有废液处理什么的

感谢您的建议。大体思路有了。刻蚀铝，主要是实验设备选择问题

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5楼2019-02-25 19:25:26
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