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【资源】中国科技大学《微细加工技术》课件
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中国科技大学付绍军老师《微细加工技术》PPT课件.微细加工技术从加工手段方面分为光子束技术；电子束技术；离子束技术。本可见主要介绍光刻技术（紫外光刻；深紫外光刻；x射线系列），和离子束技术等，值得下载学习！如果喜欢，欢迎评论！ 地址： http://www.namipan.com/d/%e4%bb% ... a9d03072c4054e2db03 该资源汇总链接： http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=1373457 欢迎下载 [ Last edited by yehanwin on 2009-6-8 at 13:51 ] |
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 Nano&Micro | 光学材料微纳加工 | 纳米器件工艺 | 精密与微细制造 |
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