| 查看: 650 | 回复: 0 | ||
[求助]
磁控溅射污染及清理
|
|
请教一个关于磁控溅射的问题，各位大佬怎么看： 我们的磁控溅射是跟蒸镀集成在一个设备上的，使用磁控溅射的时候会把蒸镀的部分拿铝箔纸包上，但是之后再用蒸镀做薄膜的时候就很难做出来正常的样品，不知道是不是磁控溅射污染的问题？ 还有就是每次磁控溅射结束后应该怎么清理腔体？磁控溅射是跟手套箱结合在一起的，新手小白不清楚有没有什么好的办法解决。 多谢！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
面上的水很深
已经有25人回复
-
国社科通讯评审
已经有7人回复
-
5个%2F，非固定段22个字母
已经有13人回复
-
小木虫没落了，除了祈祷帖子，几乎看不到有价值的帖子
已经有16人回复
-
生命口C13面上会评时间
已经有11人回复
-
生命口面上会评结束了吗大家有知道结果吗？现在还没有结果正常不？
已经有9人回复
-
投英文期刊如何查重
已经有6人回复
-
伯胺上甲基求助
已经有7人回复
-
生生命学部会评
已经有4人回复
-
H口，面上，时间戳7月7日。
已经有3人回复