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磁控溅射污染及清理
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请教一个关于磁控溅射的问题，各位大佬怎么看： 我们的磁控溅射是跟蒸镀集成在一个设备上的，使用磁控溅射的时候会把蒸镀的部分拿铝箔纸包上，但是之后再用蒸镀做薄膜的时候就很难做出来正常的样品，不知道是不是磁控溅射污染的问题？ 还有就是每次磁控溅射结束后应该怎么清理腔体？磁控溅射是跟手套箱结合在一起的，新手小白不清楚有没有什么好的办法解决。 多谢！！！ |
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