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weiwei80

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[求助] 紫外光刻胶光刻完之后,有没有检测光刻胶光刻好坏的步骤?

目前紫外光刻胶光刻完之后,有没有检测光刻胶光刻好坏的步骤?如果有的话,是什么步骤,用什么仪器,使用什么方法来检测?
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光刻电子

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2018-12-28 15:50:52
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shijie6356

铁虫 (著名写手)

3楼2018-12-30 07:16:00
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weiwei80

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引用回帖:
3楼: Originally posted by shijie6356 at 2018-12-30 07:16:00
一般是通过显影后检查

有没有显影前做的?
4楼2018-12-31 11:04:16
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