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RIE 离子反应刻蚀的表面残留有本该飞走的颗粒
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| RIE 离子反应刻蚀的表面残留有本该飞走的颗粒，样品的SEM照片表面看起来都是脏的，有很多小颗粒绒毛之类的附着在表面，这个时候该如何调整RIE的参数 |
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 薄膜材料和器件制备 |
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speedangle
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