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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 金膜表面溅射二氧化硅
汕头大学海洋科学接受调剂
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956105060

新虫 (正式写手)

[交流] 金膜表面溅射二氧化硅 已有3人参与

在金膜表面，磁控溅射几十纳米二氧化硅，后续实验中（会进入丙酮溶液，水中超声），发现二氧化硅会脱落。这应该如何解决？

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1楼 2018-12-06 17:37:43
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perry_ping

新虫 (职业作家)
改为热氧化
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2楼2018-12-07 09:22:42
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1、减少超声时间，通过浸泡+超声过程达到同样的目的；
2、分析你SiO2脱落情况，是全部脱落还是局部脱落，脱落的位置和没有脱落位置有什么区别，有无脏污，粗糙度有无区别等方面分析，查找原因，解决问题。
3。尝试其他方法制备SiO2，PECVD方式尝试一下？

因为没做过Au表面制备SiO2，只是一些建议，仅供参考！
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3楼2018-12-07 15:57:00
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956105060

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-07 15:57:00
1、减少超声时间，通过浸泡+超声过程达到同样的目的；
2、分析你SiO2脱落情况，是全部脱落还是局部脱落，脱落的位置和没有脱落位置有什么区别，有无脏污，粗糙度有无区别等方面分析，查找原因，解决问题。
3。尝试 ...

全部脱落

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4楼2018-12-07 16:21:31
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 956105060 at 2018-12-07 16:21:31
全部脱落
...

全部脱落可能是两者之间的粘附性不行，试试增加金属粘附层在溅射SiO2呢？
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5楼2018-12-12 14:45:50
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cai004

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-12 14:45:50
全部脱落可能是两者之间的粘附性不行，试试增加金属粘附层在溅射SiO2呢？...

有好的金属粘附层推荐吗
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PVD燃料电池金属电极板
6楼2018-12-24 15:41:52
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956105060

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-12 14:45:50
全部脱落可能是两者之间的粘附性不行，试试增加金属粘附层在溅射SiO2呢？...

Cr可以

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7楼2018-12-24 20:18:26
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956105060

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by cai004 at 2018-12-24 15:41:52
有好的金属粘附层推荐吗...

Cr

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8楼2018-12-24 20:18:34
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