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956105060

新虫 (正式写手)

[交流] 金膜表面溅射二氧化硅 已有3人参与

在金膜表面,磁控溅射几十纳米二氧化硅,后续实验中(会进入丙酮溶液,水中超声),发现二氧化硅会脱落。这应该如何解决?

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perry_ping

新虫 (职业作家)


改为热氧化
2楼2018-12-07 09:22:42
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gyxzby

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
1、减少超声时间,通过浸泡+超声过程达到同样的目的;
2、分析你SiO2脱落情况,是全部脱落还是局部脱落,脱落的位置和没有脱落位置有什么区别,有无脏污,粗糙度有无区别等方面分析,查找原因,解决问题。
3。尝试其他方法制备SiO2,PECVD方式尝试一下?

因为没做过Au表面制备SiO2,只是一些建议,仅供参考!
3楼2018-12-07 15:57:00
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956105060

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-07 15:57:00
1、减少超声时间,通过浸泡+超声过程达到同样的目的;
2、分析你SiO2脱落情况,是全部脱落还是局部脱落,脱落的位置和没有脱落位置有什么区别,有无脏污,粗糙度有无区别等方面分析,查找原因,解决问题。
3。尝试 ...

全部脱落

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4楼2018-12-07 16:21:31
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gyxzby

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 956105060 at 2018-12-07 16:21:31
全部脱落
...

全部脱落可能是两者之间的粘附性不行,试试增加金属粘附层在溅射SiO2呢?
5楼2018-12-12 14:45:50
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cai004

铜虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-12 14:45:50
全部脱落可能是两者之间的粘附性不行,试试增加金属粘附层在溅射SiO2呢?...

有好的金属粘附层推荐吗
PVD燃料电池金属电极板
6楼2018-12-24 15:41:52
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956105060

新虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-12 14:45:50
全部脱落可能是两者之间的粘附性不行,试试增加金属粘附层在溅射SiO2呢?...

Cr可以

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7楼2018-12-24 20:18:26
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956105060

新虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by cai004 at 2018-12-24 15:41:52
有好的金属粘附层推荐吗...

Cr

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8楼2018-12-24 20:18:34
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